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        洁净自动化技术及装备是新松集团的新兴主导产业之一,是一个全新的行业,是对机器人自动化产品要求精度更高的高端市场。由公司承担的国家“十一五”重大IC装备——洁净(真空)机械手研发取得成果,已正式投产使用,该项目攻克了制约国产IC装备制造的关键技术难题,打破了国外的技术封锁和垄断,填补了国内空白。

        上海新松正研究攻克直驱型真空机械手关键技术,完成大负载平面多关节型和垂直关节型洁净搬运机器人关键技术攻关和产品研发,实现IC装备真空机器人、洁净机器人、平板显示搬运机器人、洁净物流自动输送设备的产业化生产,同时进军洁净自动物流装备领域。满足华东、华南、华中等区域IC装备、平板显示、电子、生物制药和食品等高端制造企业需求。
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