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         晶圆搬运系列真空机械手主要应用于半导体加工过程中,是负责真空端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。采用新松公司具有的网络型机器人控制器进行控制,具有结构紧凑、组态灵活和控制性能高的特点,可适应不同的机器人本体,实现机器人控制器之间、机器人控制器同IC 装备之间的通讯,便于组成不同的应用系统。目前新松公司已经研制出单臂、双臂、斯科拉型、蛙型等6个型号的大气机械手,并且可以根据客户的要求进行定制,已有用户应用,并形成了系列化产品满足不同用户的要求。






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