中  文
   |  
English
工业机器人
自动化成套装备
物流仓储自动化
洁净自动化装备
真空机械手
大气机械手
基板搬运机器人
其它洁净机器人系统
激光加工成套装备
特雷克斯焊接产品
洁净自动化装备
首页 > 产品与解决方案 > 洁净自动化装备 > 大气机械手
        晶圆搬运系列大气机械手主要应用于半导体加工过程中,是负责大气端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。本系列大气机械手采用轻量、高刚性手臂、高精度、高性能的AC伺服电机和谐波减速器,可实现高速平稳的运行。该机器人满足洁净环境运动件的润滑要求,保证机器人长期平稳运行,并对洁净环境无影响。采用新松公司具有的网络型机器人控制器进行控制,具有结构紧凑、组态灵活和控制性能高的特点,可适应不同的机器人本体,实现机器人控制器之间、机器人控制器同IC 装备之间的通讯,便于组成不同的应用系统。目前新松公司已经具有单臂和双臂两种类型4个型号的大气机械手,并且可以根据客户的要求进行定制,已有用户应用,并形成了系列化产品满足不同用户的要求。 
 

 

 
版权所有 © 上海新松机器人自动化有限公司 地址:上海金桥出口加工区川桥路1295号5号楼
售后服务 | 联系我们 | 信息反馈
 电话:(8621)31021788